SJ6000激光干涉仪在钟罩式气体流量标准装置上的应用

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　　钟罩式气体流量标准装置是以空气为介质 ,对气体流量计进行检定、测试的计量标准设备。

　　钟罩式气体流量标准装置由密封槽、密封液、湿度传感器、钟罩罩体、温度传感器、导向系统、光电传感器、激光干涉仪、凸轮、压力传感器、浮力补偿配重、液位平衡配重、液位平衡液槽等组成。

激光干涉仪作用：

　　传统的尺寸法应用游标卡尺来测量光电传感器之间的距离 ,这种方法准确度不高且由于人为因素的影响 ,测量结果的重复性较差。在新的标定方法中 ,应用激光干涉仪测量光电传感器之间的距离 ,得到了较好的测量结果。激光干涉仪本身的准确度很高 ,其分辨力可以达到 1nm。应用激光干涉仪测量光电传感器之间的距离关键要保证钟罩在作直线运动的过程中 ,光电传感器的触发时间和激光测距的时间同步。基于这点考虑 ,在测量光电传感器间距离时 ,利用光电传感器发出的高电平信号来触发激光干涉仪计数脉冲信号 ,实现同步的效果。光电传感器每次被触发会发出一个高电平信号 ,把这个高电平信号

　　作为触发脉冲 ,用脉冲的上升沿来触发激光干涉仪的计数脉冲信号开始计数 ,同时也开始距离的测量 ;同理 ,当下一个光电传感器被触发时 ,高电平信号触发激光干涉仪停止计数 ,同时停止测量。这样就得到了光电传感器两次触发间激光干涉仪测量得到的脉冲数和两个光电传感器之间的距离。这种测量方法带来的最大误差为 1 个激光干涉仪计数脉冲对应的距离值( < 0. 1μm) 。

附：SJ6000激光干涉仪主要指标

主机

稳频精度：0.05ppm

动态采集频率：50 kHz

预热时间：≤ 6分钟

工作温度范围：(0~40)℃

存储温度范围：(-20~70)℃

环境湿度：(0~95)%RH

环境补偿单元

空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空气湿度传感器：±5%RH (0~95)%RH

大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa

线性测量

测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)

测量精度：0.5ppm (0~40)℃

测量分辨力：1nm

测量最大速度：4m/s